Hanturbo Technology (Zhejiang) Co., Ltd. es uno de los principales fabricantes y proveedores de equipos electrónicos de purificación de gases en China. Nos especializamos en brindar un servicio personalizado de alta calidad a precios competitivos. Si va a comprar equipos electrónicos de purificación de gas con descuento, le invitamos a obtener una cotización de nuestra fábrica.
El equipo electrónico de purificación de gas de alta-pureza es un equipo de soporte central para campos de fabricación de alto-gama, como semiconductores, fotovoltaicos y paneles de visualización. Está diseñado específicamente para eliminar trazas de impurezas de gases de grado electrónico-. Este equipo adopta una tecnología avanzada de purificación profunda, que puede elevar la pureza del gas por encima del 99,9999 %, garantizando procesos de producción estables y confiables y una calidad superior del producto.
Detalles
Como eslabón clave en la cadena de la industria de fabricación de semiconductores, el rendimiento de los equipos electrónicos de purificación de gases de alta-pureza determina directamente el rendimiento y la confiabilidad de la fabricación de chips. Este equipo está desarrollado específicamente para la purificación profunda de gases especiales de grado electrónico-(como óxido nitroso, tricloruro de boro, trimetilsilano, propeno, octafluorociclobutano, hexafluoroetano, dióxido de carbono, monóxido de carbono, bromuro de hidrógeno, etc.). Puede eliminar eficazmente la humedad, el oxígeno, las partículas, los iones metálicos y otras impurezas nocivas del gas, elevando la pureza del gas a niveles de pureza ultra-altos (superiores o iguales al 99,9999 %), cumpliendo con los estrictos requisitos de procesos avanzados como 7 nm e inferiores para la calidad del gas.
Ventajas técnicas
Eficiencia de purificación ultra-alta:La pureza del gas purificado puede alcanzar el 99,9999% (nivel 6N) y el contenido de impurezas es inferior al estándar de la industria.
Control inteligente:Adopta un sistema de control totalmente automático PLC, admite monitoreo remoto, autodiagnóstico de fallas y alarma automática.
Diseño modular:Puede configurarse de manera flexible según los requisitos del cliente, lo que resulta conveniente para el mantenimiento y la actualización.
Ahorro-de energía y protección del medio ambiente:Operación de bajo consumo energético, en línea con el concepto de fabricación verde.
Operación estable-a largo plazo:La vida útil del material de purificación del núcleo es larga y el ciclo de operación continua puede alcanzar de 2 a 3 años o más.
Seguro de calidad
Selección de materiales:Todas las piezas en contacto con el gas están hechas de acero inoxidable 316L EP-o materiales de calidad superior, y la pared interior está electro-pulida a Ra inferior o igual a 0,25 μm.
Pruebas estrictas:Cada dispositivo está sujeto a múltiples pruebas, incluida la detección de fugas por espectrometría de masas de helio, el recuento de partículas y el análisis de humedad/oxígeno, antes del envío.
Estándares Internacionales:Cumple con SEMI, GB/T, ISO y otras especificaciones estándar nacionales e internacionales.
Gestión de Trazabilidad:Se establece un sistema completo de trazabilidad de la calidad, con componentes críticos rastreables hasta el lote de materia prima.
Soluciones a las inquietudes del cliente
| Enfoque en el cliente | Nuestras soluciones |
| La pureza del gas no cumple con el estándar. | Soluciones de purificación personalizadas para garantizar que la pureza cumpla con los requisitos de la ventana de proceso |
| Mala estabilidad del equipo | Diseño redundante + doble respaldo de componentes clave, MTBF mayor o igual a 80000 horas |
| Alto costo de mantenimiento | Consumibles-de larga duración + función de regeneración en línea, lo que reduce los costos operativos |
| Gran superficie ocupada | Diseño integrado compacto, que ahorra un 30% de espacio en comparación con los equipos tradicionales |
| Riesgo de seguridad | Múltiples enclavamientos de seguridad + diseño-a prueba de explosiones, que cumple con los estándares de seguridad SEM S2/S8 |
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